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冷水機在真空系統及真空鍍膜機上的應用

更新時間:2024-10-14      點擊次數:924

                 冷水機在真空系統及真空鍍膜機上的應用

一:冷水機在真空鍍膜工藝中有什么作用?

真空鍍膜工作原理是膜體在高溫下蒸發落在工件表面結晶。由于空氣對蒸發的膜體分子會產生阻力造成碰撞使結晶體變得粗糙無光,所以必須在高真空下才能使結晶體細密光亮,果如真空度不高結晶體就會失去光澤結合力也很差。早期真空鍍膜是依靠蒸發體自然散射,結合差工效低光澤差。現在加上中頻磁控濺射靶用磁控射靶將膜體的蒸發分子在電場的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜,解決了過去自然蒸發無法加工的膜體品種,如鍍鈦鍍鋯等等。

中頻設備必須加冷卻水,原因是它的頻率高電流大。電流在導體流動時有一個集膚效應,電荷會聚集在電導有表面積,這樣使電導發熱所以采用中孔管做導體中間加水冷卻。 磁控濺射靶在發射時會產生高溫會使射槍變形,所以它有一個水套來冷卻射槍。同時還有一個重要原因磁控濺射可以被認為是鍍膜技術中的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜 - 基結合力好

 

二:冷水機成部分和部件

     真空鍍膜膜設備配備冷水機是為了達到高效率、高精度控制溫度的目的以保證鍍件的高質量,增加鍍件的密度和平滑,縮短電鍍周期,提高生產效率和改善產品的質量。

      真空鍍膜設備專用的冷水機主要組成有:壓縮機,貯液器,干燥過濾器,熱力膨脹閥,蒸發器,制冷劑,冷凝器。

      壓縮機是心臟,冷水機制冷系統通過壓縮機輸入電能,將熱量沖低溫環境排放到高溫環境,制冷壓縮機決定整個系統的效率。

      貯液器安裝在冷凝器后面,于冷凝器的排液管直接連通,貯液器起到調劑和貯存制冷劑的作用。

      冷凝器可分為三類:風冷式冷凝器、蒸發式冷凝器和水冷式冷凝器,冷凝器起著輸出熱能并使制冷劑得以冷凝的作用。

      干燥過濾器預防制冷輪回中水分和污染物等的進入導致影響制冷裝置的正常使用。

      熱力膨脹閥安裝在干燥過濾器和蒸發器之間,主要作用使使高溫的制冷劑液體節流降壓變為低溫抵押濕蒸汽進入蒸發器從而達到制冷降溫的作用。

 

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